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光伏级高浓度臭氧水系统

光伏级高浓度臭氧水系统
  • 光伏级高浓度臭氧水系统

  • 所属分类: 产品展示

  • 概要:
    半导体级高浓度臭氧水系统专为光伏、面板行业应用而开发设计,系统采用高浓度、超纯净臭氧生成与混合控制技术,选用高品质、超纯耐臭氧材料以及1+1组合的模块化设计,实现为半导体、面板等行业应用提供大流量超洁净、高浓度臭氧水。
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产品描述

选用高品质、超纯耐臭氧材料
       臭氧水广泛应用于清洗与氧化制程中,如去除颗粒、金属离子、自然氧化层以及有机物,臭氧水作为可替代SC1 和SC2 的新清洗方式,大幅度降低行业污染物排放、降低清洗成本,提高清洗效果。

♦ 臭氧水输出稳定,臭氧水流量10-60L/min可控、可调;
♦ 应用超纯高效混合与控制技术,臭氧水溶浓度实现10-60ppm;
♦ 臭氧浓度输出速度快,气体输出压力高, 3.0bar;
♦ 采用超纯发生技术与超纯材料及工艺制造,避免金属污染及析出;
♦ 设备具有互锁、联动保护功能,发生异常及时进行有效警示与保护。
♦ 设备可与外部进行通讯,实现数据传送以及进行远程控制。

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发布时间:2022-05-10 09:18:00

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